JBCS



9:34, sáb abr 19

Acesso Aberto/TP



Artigo


Modelagem dos Processos Químicos em Plasmas de Misturas Gasosas Usadas na Corrosão de Silício. Parte 1: CF4/O2
Modelagem dos Processos Químicos em Plasmas de Misturas Gasosas Usadas na Corrosão de Silício. Parte 1: CF4/O2

G. F. Bauerfeldt e G. Arbila

Conteúdo não disponível

On-line version ISSN 1678-7064 Printed version ISSN 0100-4042
Química Nova
Publicações da Sociedade Brasileira de Química
Caixa Postal: 26037 05513-970 São Paulo - SP
Tel/Fax: +55.11.3032.2299/+55.11.3814.3602
Free access

GN1