JBCS



15:40, qui nov 21

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Artigo


Modelagem dos Processos Químicos em Plasmas de Misturas Gasosas Usadas na Corrosão de Silício. Parte 1: CF4/O2
Modelagem dos Processos Químicos em Plasmas de Misturas Gasosas Usadas na Corrosão de Silício. Parte 1: CF4/O2

G. F. Bauerfeldt e G. Arbila

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